ISO 14644

Nach der international anerkannten ISO-Klassifizierung 14644 gibt es 9 Klassen definiert nach Partikelkonzentration und Partikelgröße pro Kubikmeter. Je kleiner die Klasse, umso höher die Reinheitsanforderung. Halbleitertechnik verlangt z.B. ISO 4 während für die Lebensmitteltechnik ISO 7 gilt Die niedrigste definierte Klasse ist ISO 9.

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