Mikroelektronik

In Reinräume der Mikroelektronikindustrie ist Partikelreinheit wichtig, weil sogar sehr kleine Partikeln eine Fehlfunktion verursachen können. Bei der Waferfertigung (Halbleitertechnik) können bereits kleinste Partikel Störungen hervorrufen. Statische Ladung/ ionische Verunreinigung muss auch vermieden werden.

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