Partikelkonzentration

Partikelbelastung ist eins der Hauptkriterien für die Reinheit in vielen Reinräumen z.B. in der Halbleiterindustrie. Die Partikelzahl pro m³ sowie die Partikelgröße werden im Ruhezustand sowie im Arbeitszustand definiert. Nach der international anerkannten ISO 14644 gibt es Reinraumklassen von 1-9 . Je kleiner die Klasse umso höher die Reinheitsanforderung.

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